作者：茶乂
可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。
李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。
物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。
对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。
唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。
负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。
终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。
她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”
说完，她也不等两人回答，转身离开。
于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：
“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”
“没问题。”
李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。
拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。
和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。
之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。
刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。
这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。
于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。
对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”
“可以。”
李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。
依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。
于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。
很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。
因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。
但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。
于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。
不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。
他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断：
“等等！这样就很好了，你先别动。”
由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。
李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？”
“你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。”
众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道：
“你们先别停，我去看看情况。”
众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。
赵蔓到达时，看到的就是一人站在观察位不动，一人飞速记录的场面。
她的目光随即转移到李筠身上，疑惑地问：“你们这边是出了什么问题吗？”
李筠摇摇头，眼神看向一旁的于亮。
于亮没有回答两人的问题，继续在记录册上写写画画，好一会儿才停下自己的手，因为长时间高强度的使用，还情不自禁地甩甩自己的手腕。
而后勾起嘴角，眼神当中几乎是藏不住的喜色，看着一旁的赵蔓激动地说：
“我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数，赵师姐，你看。”
说着，就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。
第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技，把物镜的角度画得乱七八糟，她根本看不明白，果断移开视线，看向上面记录的数据。
当她看到成像比例的时候，眼睛瞬间睁大，眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。
忍不住夸赞出声道：“你们俩非常了不起，这个发现我要赶紧告诉教授，你们俩这边暂时别动，等会儿教授也要过来看。”
说罢，带着手里得到记录册通通离开。
其他耳朵尖的，也明白是两人这边有了新发现，赶紧放下自己手里的东西围过来看，叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。
等到赵蔓带着赵本民教授来的时候，看到的就是这样一副闹哄哄的场面。
她赶紧加大的音量喊道：“都让让！都让让！教授来了。”
话音刚落，人群若鸟兽散，迅速给赵蔓和赵教授让出一条路，此时的李筠也早已经离开了观察位，与于亮站在一起。
赵本民看着眼前的机器，侧头问了赵蔓一句，眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。
但第一时间还是站上观察位，查看内部透镜的具体方位，顺便还按下按钮，亲眼观察数据表现。
当看到上面的数据与记录册上的大体相似时，他这张一直皱着眉头的脸，难得的露出笑容，就像是连绵阴雨的春日突然闯入明媚的阳光，看着人都轻松不少。
随后，他的眼神放到李筠两人身上，追问道：
“你们俩是怎么想出来这种配合方式的？”
于亮可以说这件事和自己的关系不大，听到这话，立即看向一旁的李筠。
见状，李筠也是站出来解释，“之前看过于亮的调配方式，学生想到光束相当于球面波，因为透镜和其他因素的印象会造成偏离，导致像差。于是，依据之前形成的数据，观察其中变化，不断尝试、校正……”
李筠侃侃而谈的样子，仿佛散发着一股迷人的光芒，迅速将所有人的视线吸引过去。
赵本民也是一边听一边点头，原理大家都明白，但更重要的是懂得如何操作，要不然他们也不会耗费如此多的时日，也还是进展缓慢。
“你的解释很不错，那接下来就根据这个思路继续尝试，争取能够获得更好的比例。你们俩的这台机器的数据和图像都全部记下了吧？”
闻言，赵蔓立即将自己手里的记录册递过去，指着上面于亮绘制的图案。
要不是他眼神明亮，还真看不出这是什么东西。
或许于亮也是想到了自己的“鬼画符，”脸上露出尴尬的笑意。
赵本民也是头上一堆黑线，提点道：“你们还要细化一点，这可是要给其他人能够模仿的指导图。”
“是是是，教授，我们会再细化一遍的。”
“那就这样，你们赶紧画出来，交到赵蔓手里就行。”
看完这边的进展，赵教授也还有其他的事情要忙，急匆匆地离开了，连带着赵蔓一起。
留给两人的就只有刚刚的那本册子，李筠看到上面的图案，立即就明白了刚刚赵教授的话，提议道：
“不如还是去找点合适的纸来绘制？正好我前些日子就是在负责图纸工作。”
于亮也知道有点尴尬，听到李筠的话，忙不迭地表示：
“当然可以，你快去，我就在这里守着。”
听到同意，李筠快步走回自己的办公室，从里面取出之前绘制激光器图纸所用的纸张，重新回到实验室。
看着有点不好意思的于亮，提议道：“不如我来？”
“当然可以，这个角度还是你调试的，肯定对它更清楚，你来，我自己再亲自动手，体验一下。”
说着，于亮又重新回到观察位，观察此时精妙的角度和搭配。
李筠则是坐在一旁，一丝不苟地将图纸绘制出来，因为感觉到赵教授的要求很高，她不敢有一丝一毫的懈怠，几乎是熬了一个大夜，才将图纸绘制完成。
不说她自己，连在一旁配着她的于亮都已经熬不住昏昏入睡。
她慵懒地撑个懒腰，心满意足地看着自己的作品。
说来，今天她好像一直都在绘制图纸，感觉到自己的技能熟练不少，看向一旁入睡的于亮，她也不挑，就着自己绘制图纸的桌面安然入睡。
醒来还是因为实验室涌入上班的研究员才苏醒过来，大家看着两人的样子，就明白昨夜肯定是没有回去的，不由得佩服到五体投地。
有人关切地询问道：“昨日教授要求的图纸你们已经绘制完成了吗？”
闻言，李筠展示出自己手里的东西，眨巴眨巴眼睛，回道：“已经完成了。”
“哇——”
“我看看！”
李筠的身边迅速靠拢一群看热闹的人，一个个的目光都紧紧锁定在图纸上，开始思索自己的物镜应该如何调试成这样。
虽说他们的透镜薄厚、大小都不同，但是想着角度也玩意总要有点共同之处吧？
一个个热情的不行，像是要把图上的东西刻在自己的脑海里一样。
而被众人遗忘在人群外的于亮，此时也有点不知所措，他自己这个同伴都还没看过呢？
还不等他出声，人群中立即有比较大胆的研究员喊道：
“我看李筠你第一天就可以找出其中关窍，不知道可不可以帮忙看看我那里的物镜？我那都停滞好多天了。”
“发现都是很偶然的事情，要是你不介意我看之后也什么变化都没有的话，我可以尝试一下。”
这种带着祈求语气的帮忙，李筠真的没法说出拒绝的话。
杜子腾看到李筠同意，哪里还有什么不满意的，与自己的同伴对视一眼，兴奋地喊道：
“自然不会，你愿意帮忙都是一件幸事。”
说着，就要把李筠带去自己负责的区域。
李筠站起来之后才想起自己手里的图纸，目光瞬间透过人群往于亮看过去，出声喊道：
“于亮，要不你把图纸拿过去给赵教授看一眼行不行？我这里暂时走不开。”
“可以可以，当然可以。”